Veeco儀器股份有限公司案例——

Veeco使用Galil模塊化功能來“查看”亞納米級缺陷

越來越多的現代技術需要越來越精密的計量技術，來測量日益精細的細節和嚴格的公差。Veeco的新型Wyko®光學輪廓儀由一系列Galil運動控制器控制，可針對表面粗糙度和形貌，提供亞納米級分辨率的非接觸式三維測量。具有測量準確、重復性好且速度快的特點。

Veeco為其輪廓儀選擇了Galil DMC-3425以太網運動控制器，該控制器采用了一種多功能的并且強大的分布式控制形式，其中的許多控制器可以以模塊化方式鏈接在一起。

“有了Galil，我們只需要儲備一種類型的控制器。只需要根據所需的控制軸數來使用更多的控制器。而對于其他控制器，我們則必須儲備2軸、4軸和6軸的板子?！盫eeco的Colin Farrell表示道。

鏈接時，一個DMC-3425控制器被指定為主控制器，作為一個虛擬的多軸控制器。最多可將四個DMC-3425控制器鏈接在一起，從而由主機單個通信鏈路控制的軸數多達8個。

以太網功能對于Veeco也很重要?！癎alil的以太網連接能夠進行快速通訊。有了以太網，我們再也不需要使用計算機主板上的插槽了?！盕arrell 說道。

Galil還提供了足夠的數字和模擬I/O來滿足Veeco的需求。DMC-3425不僅可以接收來自控制桿的輸入信號，還可以與步進電機配套使用，這兩點對Veeco來說都非常重要。

Veeco在其所有的光學輪廓儀中均使用了Galil控制器來進行測量。Wyko NT1100使用了一臺Galil DMC-3425，具有亞納米級分辨率，可在小尺寸范圍內進行測量。該設備能夠為R&D（研究與開發）以及MEMS（微機電系統）、厚膜、光學和陶瓷的生產提供經濟高效的計量。

行業標準Wyko NT3300通過使用兩個DMC-3425，具有了靈活性、計量能力和可靠性，可進行全天候生產（24小時-7天）。NT3300主要用于工藝開發和質量控制。

Veeco的Wyko NT8000配有三臺DMC-3425，是一款可用于任何地方的功能最強大的輪廓儀。該設備兼具100微米/秒的掃描速度、8毫米的掃描范圍和全自動功能，可快速測量階梯高度、粗糙度和表面形貌。這款第八代輪廓儀能夠提供0.1納米到8毫米范圍內的三維測量，具有亞納米級分辨率。

由于Veeco輪廓儀是非接觸式的，因此測量時不會損壞被測的材料。用戶既可以選擇相移干涉法（PSI）——用于測量平面的快速方法，也可以選擇垂直掃描干涉法（VSI）——用于測量復雜表面。所有的Veeco光學輪廓儀都可以在VSI和PSI之間切換。

“使用Galil，我們只需要儲備一種類型的控制器。只需要根據所需的控制軸數來使用更多的控制器?！?/span>

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亞利桑那州圖森

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